序 號

項   次

說   明

1

單一場鏡加工幅面

120*120mm

170*170mm

2

單次加工范圍

120*220mm（雙振鏡同時加工）

170*320mm（雙振鏡同時加工）

3

刻蝕線寬線距

25um±5um（視加工材料）

35um±5um（視加工材料）

4

平臺有效加工幅面

800mm*600mm（可定制）

5

對焦方式

電動調焦

6

綜合定位精度

±10um

7

XY重復定位精度

±2um

8

XY運動速度

≤500mm/s

9

振鏡加工速度

≤3000 mm/s （視具體材料而定）

10

拼接精度

≤10um(拼接點可依需求設定)

≤5um(拼接點可依需求設定)

11

加工定位方式

自動使用CCD定位系統(tǒng)進行自動定位與圖案調整加工

12

排煙方式

獨立設計排煙系統(tǒng)，確保安全生產環(huán)境

13

加工工件

PET基材上的銀漿、ITO、納米銀、石墨烯等